提高真空泵的可靠性

　(1)提高真空泵的可靠性，降低振動、噪聲，注重真空泵的綜合水平。過去的若干年，生產(chǎn)廠注重真空泵的主要性能指標，比如，極限壓力、抽速等，而忽視真 空泵的綜合性能。而現(xiàn)在，產(chǎn)品的可靠性、性能的穩(wěn)定性以及對環(huán)境不造成污染逐漸成為用戶購買產(chǎn)品時考慮的主要因素。對于旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等而言要將 成熟的可靠性設計理念運用到真空泵的設計中，在可靠性設計、可靠性實驗等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性、穩(wěn)定性和壽命，保證真空泵能夠在各種工 況下長期可靠的運行。同時通過采用新技術、新材料、新工藝、新結構來降低振動、噪聲，解決泵的噴油、漏油問題，還用戶一個清潔環(huán)保的工作環(huán)境。

　 　(2)真空泵向個性化、多樣化發(fā)展。企業(yè)面對的永遠是變化的市場，而我們的真空泵產(chǎn)品卻千篇一律的雷同。產(chǎn)品和市場的不銜接，使我們丟掉了許多機會。真 空泵的下一步發(fā)展應該面向個性化和多樣化。所謂個性化和多樣化就是針對不同用戶的不同需求，設計針對某一用戶的特定場合的產(chǎn)品，使產(chǎn)品在這一場合應用，其 特性的發(fā)揮恰倒好處。

　　(3)盡快形成分子泵和干泵的規(guī)模生產(chǎn)。真空泵根據(jù)預測，到2016年我國將成為世界上第二大半導體集成電路市 場，總需求量約1000億塊，達到1000億美元以上的總金額，需要建30多條大生產(chǎn)線才能滿足需求。30條生產(chǎn)線所需干式真空泵大約15000臺，是目 前我國真空泵年產(chǎn)量的1／10左右。

　　(4)國內目前真空獲得設備仍然以傳統(tǒng)的真空泵為主，主要為旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空 泵、蒸汽流泵、水環(huán)真空泵等，且全部用于傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，我國生產(chǎn)的真空泵用于電子信息產(chǎn)業(yè)不足1％，與日本、歐美等國相比差距巨大。我國干式真空泵的生產(chǎn)處于 剛剛起步階段，在全國200多家生產(chǎn)真空泵的企業(yè)中，能夠生產(chǎn)干式真空泵的企業(yè)不足10家，年產(chǎn)量不足1000臺。沒有形成批量生產(chǎn)。

　　(5)國內生產(chǎn)的干泵絕大多數(shù)用于實驗室及化學、醫(yī)藥等領域，用于半導體行業(yè)的很少。國內飛速發(fā)展的電子信息產(chǎn)業(yè)沒有有效的刺激國內干式真空泵發(fā)展，而卻成為國際上真空工業(yè)發(fā)達國家的擴張之地。

　 　(6)國內建成的半導體集成電路生產(chǎn)線，幾乎所有的干式真空泵(包括其它真空設備)均為進口，主要來自英國、日本、德國、美國等。國內生產(chǎn)的干式真空泵 進入該領域十分艱難，使得干式真空泵這個未來真空獲得設備的主導產(chǎn)品在我國處于十分困難的境地。造成此狀況的主要原因為干式真空泵在我國的起步較晚，剛一 起步即面臨國外已經(jīng)發(fā)展成熟的產(chǎn)品大量進入我國市場，國內產(chǎn)品除了價格低外，在加工制造、技術水平、質量狀況等各方面不含有優(yōu)勢，國外各國的產(chǎn)品經(jīng)過幾年 的較量，已經(jīng)基本瓜分了國內市場，并且站穩(wěn)了腳，國內的干式真空泵生產(chǎn)由于失去了市場的激勵，沒有了發(fā)展的動力，進步緩慢。業(yè)內專家一致認為干式真空泵是 真空獲得設備發(fā)展的方向，也是真空獲得手段的“尖端”技術，我國的真空泵產(chǎn)業(yè)必須在此領域有所作為，首先進入食品、化工、醫(yī)藥等行業(yè)。經(jīng)過這些市場的培育 和鍛煉，進而打入半導體行業(yè)。才能使整個行業(yè)與時俱進的發(fā)展。目前國內分子泵應健全系列并開發(fā)多品種，如低溫分子泵、復合分子泵等，逐漸擴展市場。

　 　(7)抓緊產(chǎn)品結構調整，全力開發(fā)適應市場需求的產(chǎn)品傳統(tǒng)的真空設備我們生產(chǎn)了幾十年，在全國范圍內形成了產(chǎn)品分布的穩(wěn)定格局。但是隨著經(jīng)濟的高速發(fā) 展，信息技術、航空航天、納米科學等高科技弓I導了當今科學技術發(fā)展的潮流。而這些高新技術的發(fā)展離不開真空獲得設備這個基礎裝備目前國內的狀況是真空泵 生產(chǎn)企業(yè)仍然以生產(chǎn)傳統(tǒng)產(chǎn)品為主，在傳統(tǒng)應用領域占領90％以上的市場份額。在高科技領域，國內產(chǎn)品在技術水平和質量上不能滿足要求，90％以上市場份額 由國外產(chǎn)品占領。國內真空獲得產(chǎn)品與高新技術的發(fā)展嚴重脫節(jié)，產(chǎn)品結構不盡合理。多數(shù)企業(yè)期望靠已有的老產(chǎn)品，不斷增加產(chǎn)量而逐年增加利潤，這種可能性在 市場競爭日益激烈的今天會越來越小。在今天的國內外市場格局面前，盡快調整產(chǎn)品結構，使其適應市場需求才是最明智的選擇。產(chǎn)品結構的調整一是要不斷推出市 場需要的對路產(chǎn)品，對真空泵市場來說，就是要加快各種干式泵、分子泵以及其他高端產(chǎn)品的研制生產(chǎn)，盡快形成批量。二是全行業(yè)要形成高、中、低端產(chǎn)品的合理 布局，并隨著市場的變化，不斷調整，始終保持比較合理的產(chǎn)品結構狀態(tài)。盡管新的一年里真空行業(yè)取得了令人矚目的，但目前的真空泵技術發(fā)展狀況卻并不樂觀。 全行業(yè)要認真分析形勢，總結經(jīng)驗教訓，團結一致，為行業(yè)的發(fā)展和技術進步開出一條。